本报讯(记者曲冠杰)广泛用于样品检测的激光扫描显微镜由中国电子科技大学研制成功,并于日前投入实用,效果良好。
激光电子显微镜的机理是:当一束声波穿过被测样品时,可把样品内部各种信息,如气泡、裂痕、分层等缺陷映射到工作面上,然后用一束扫描激光,经过激光调制及解调技术,读出样品内部的信息,并在显示器上成像。它可用于检测集成块引线焊接、芯片与基底焊接质量及独石电容器质量的无损检测,可以大幅提高产品质量和成品率。该设备涉及到声学、光学、微波、成像技术、图像识别等多种科技领域,在我国尚属首创。
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